“哪里哪里,这正合我们的意思。”魔都微电子董事长何明说道:“冒昧打扰,还请不要见怪啊。”
“何董一心打造中国芯,承担无数人心中的科技梦想,任何时候都是不打扰的。”
郭一说的是真心话,魔都微电子虽然这么长时间造不出28nm的光刻机,但这不是他自己的问题,是整个产业链的问题。魔都微电子本身已经做得非常好了。
“哪里,现在给了无数人科技梦想的正是郭先生啊。”何明也是无限感慨:“真是英雄少年。”
听着何明的这番话,郭一也是笑了,他还是第一次跟人这么客套,实在是不符合他的性格,他也是直接了当的说道:
“何董,听说你们早就开始进行了EUV光刻机的研究,现在进展怎么样?”
“难啊!”何明一听这话就明白了,郭一不是一个喜欢客套的人,他也是直入正题:“别说EUV了,就算是DUV28nm,14nm我们现在也都还无能为力,这也是我们此行的目的。”
“深紫外光源DUV光刻机我们就不谈了,”郭一直接说道:“现在研制极紫外光源EUV光刻机,你们都有哪些困难?”
何明有些懵,郭一问这个啥意思?不过,他还是说道:“极紫外光刻涉及到的东西太多太多,最重要的当然还是三大件,光源系统、光学透镜和反射镜以及控制系统。
华东所已经能够制造出稳定的用于光刻的13.5nm极紫外光了,但整个光源系统不是那么简单能搞定的。
光源系统、光学透镜和反射镜国内没有能够达到相应精度的供应商,而我们对控制系统的开发也还远远的不够,阿斯麦的光刻机控制系统也是某国在做的。”
“如果这三大系统问题我都能够解决,你们能够在一年内搞定EUV光刻机的设计制造吗?”郭一问道。
何明来的时候做好了一切准备,但他实在没想到郭一会这么问。
三大核心系统他都能解决?这……
能不能在一年之内搞定EUV?
这个他还真的不知道,三大系统确实是核心,但是光刻机的其他部件都简单了吗?
阿斯麦的EUV光刻机,每台有超过10 万个零件,加上3 千条电线、4 万个螺栓及2 公里长的软管等零组件,最大重量达180 吨,每次运输必要动用40 个货柜、20 辆卡车,并3 架次货机才能运完。
就算除掉三大核心系统,这样的一个庞大到无法想象的系统能简单的了吗?
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